书籍详细信息：
微纳米测量技术
书目信息机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-302-13063-9:CNY24.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米测量技术/.王伯雄, 陈非凡, 董瑛编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2006 |
| 载体形态项： | 223页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 清华大学微机电系统工程系列教材 |
| 提要文摘： | 本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。 |
| 并列题名： | Metrology for micro - and nanotechnology eng |
| 题名主题： | 纳米技术 测量技术 高等学校 教材 |
| 中图分类： | P2 |
| 个人名称等同： | 王伯雄 编著 |
| 个人名称等同： | 陈非凡 编著 |
| 个人名称等同： | 董瑛 编著 |
| 记录来源： | CN RUC 20060906 |
| 记录来源： | CN SWPU 20061207 |
