书籍详细信息：
微机电器件设计、仿真及工程应用
书目信息机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5124-3456-1:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电器件设计、仿真及工程应用/.郭占社, 周富强编著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京航空航天大学出版社:,2021.3 |
| 载体形态项： | 222页:;+24cm |
| 一般附注： | 高等学校通用教材 |
| 提要文摘： | 本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上, 以微机电系统中常用的核心器件为对象, 结合大量工程实例, 采用Ansys软件, 详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法, 包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等, 为相关研究在有限元仿真技术方面提供一定的技术支持。 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 郭占社 编著 |
| 个人名称等同： | 周富强 编著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20210722 |
